光腔衰荡光谱分析仪 产品中心 潽洛因思分析仪器（苏州）有限公司

光腔衰荡光谱分析仪

光腔衰荡光谱（CRDS）气体分析仪

超高纯度（UHP）气体分析解决方案

TIGER OPTICS™ 超高纯度（UHP）气体分析仪

光腔衰荡光谱（CRDS）

，可实现对气体质量的精确分析。我们的分析仪在

、医用气体和化学加工行业得到广泛应用，能够检测各种工艺气体（包括惰性气体、反应性气体、腐蚀性气体、散装气体和特种气体）中的痕量水分和其他

为什么选择我们的 TIGER OPTICS 超高纯度（UHP）气体分析仪？

我们的 TIGER OPTICS UHP 气体分析仪采用 CRDS 技术，这是一种高灵敏度、无损的方法，可定量测量分子吸收。这使得在需要最高纯度标准的应用中能够进行超精确的痕量气体分析。

CRDS 在超高纯度分析中的工作原理

光腔衰荡光谱通过测量高反射光腔内激光的吸收率来运行。激光脉冲被注入腔体，在两个超反射镜之间反射数千次。当光与气体样品相互作用时，即使是微小浓度的杂质（例如水分、氧气或碳氢化合物）也会吸收部分光，导致其强度衰减。

通过精确测量光强衰减至阈值水平所需时间("衰荡时间")，可直接计算出目标气体的浓度，获得实时、高精度的分析结果。

半导体制造中的UHP超高纯气体分析

医疗和工业气体中的水分检测

化学和特种气体生产中的杂质监测

在高完整性工艺环境中保证持续的气体纯度

痕量杂质的亚ppb级检测限

无需校准 - 维护成本低

响应时间快，重现性高

满足法规符合性和工艺优化需求

TIGER OPTICS UHP 气体分析仪与CRDS技术

HALO™ 3 CH

TIGER OPTICS™ 痕量甲醛检测 CRDS 分析仪

HALO™ 3 CO

TIGER OPTICS™ PPB 级一氧化碳检测 CRDS 分析仪

TIGER OPTICS™ PPB 级二氧化碳检测 CRDS 分析仪

HALO™ 3 D

TIGER OPTICS™ 痕量重水检测 CRDS 分析仪

HALO™ 3 H

TIGER OPTICS™ 用于超高纯度气体的痕量水分 CRDS 分析仪

TIGER OPTICS™ 用于高纯度气体的痕量甲烷分析仪

HALO™ 3 HCl

TIGER OPTICS™ 痕量氯化氢检测CRDS 分析仪

HALO™ 3 NH

TIGER OPTICS™ 痕量氨 CRDS 分析仪

HALO KA ™ H

TIGER OPTICS™ppt级痕量水分仪

HALO KA Max ™ CH

TIGER OPTICS™CRDS分析仪，检测大宗气体中的亚ppb级甲烷

HALO KA Max™ H

TIGER OPTICS™ppt级CRDS痕量水分仪

HALO KA Max™ NH

TIGER OPTICS™CRDS分析仪，检测大宗气体中亚ppb级氨

HALO™ LP H

TIGER OPTICS™ 氢化物气体中的痕量水分 CRDS 分析仪

HALO™ OK/OK+

TIGER OPTICS™痕量和超痕量氧气 CRDS 分析仪

Spark™ H

TIGER OPTICS™ PPB级痕量水分检测 CRDS 分析仪

Spark+™ CO

TIGER OPTICS™ 痕量一氧化碳检测CRDS分析仪

Spark™ H2O in CO

TIGER OPTICS™纯二氧化碳微量水分检测 CRDS 分析

Spark™ CH

TIGER OPTICS™痕量甲烷检测CRDS 分析仪

Spark™ C2H2

TIGER OPTICS™痕量乙炔检测CRDS 分析仪

Spark™ CO

TIGER OPTICS™ 痕量二氧化碳检测CRDS分析仪

Prismatic 3™

TIGER OPTICS™ 多组分CRDS气体分析仪

Prismatic 3+™

TIGER OPTICS™ PPB级多组分CRDS气体分析仪

CO-REKT™

TIGER OPTICS™氢气痕量杂质CRDS 分析仪

TIGER OPTICS™ PPB级超纯氨中的水分检测CRDS 分析仪